半导体前道工序与先进封装

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热处理设备

热板、加热器、精密烘箱、磷化铟长晶炉及退火设备

晶圆生产配套

晶圆转运整体解决方案、静电消除系统、无尘运动线缆解决方案、测试晶圆片……

键合力 提升
温度均匀性 ±0.5℃

精准控温,定义半导体热处理工艺边界

聚焦高端热处理

依托高精度温控与均匀温场技术,以稳定热环境保障工艺一致性,将温度偏差控制在行业顶端水平。

  • 高均匀性温场设计,适配多类型晶圆退火、薄膜热处理
  • 快速升温 / 降温曲线可控,支持多段式热工艺配方编辑
  • 全流程温度数据采集,工艺批次可追溯,对接产线 MES 系统
增强界面结合强度与工艺稳定性

产品资讯

烘箱

晶圆自动双腔真空压力烘箱,晶圆自动无尘烘箱,精密烘箱 — 双腔

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聚焦高端热处理 定制专属方案

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