全自动无尘烘箱


先进封装wafer,panel等产品使用,可以配合OHT系统

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应用

  先进封装wafer,panel等产品使用,可以配合OHT系统

  技术

  • 应用8-12 inch,thickness 500~800 um产品,Warpage<±4 mm="">

  • 温度 Max 400℃,均匀度±3℃

  • 25 pcs / Cassette,Total 4 Cassette

  • EFEM UNIT:Load Port 4 set / Robot / Align / Buffer area / Cooling area

  • 氧含量监控报警提示,配备氧含量分析仪

  • 支持SECS/GEM





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