3-8寸wafer批量自动传输器


 AHWT自动-批量

76-200mm

桌上型自动批量晶圆转移工具。晶圆在两个料 盒之间水平滑动转移

AWT兼容高和低外形的SEMI工艺和运输料盒。CIP开关、一致的速

度控制和传输臂监控使得AWT可靠,并且比 WT系列更新。


3-8寸wafer批量自动传输器
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