wafer notch自动对准器


ANFEZ 自动-FLAT-(76-200)mm



16
notch定位旋扭可调整定位

到的最终notch 位置

Throughput: 100 cassettes/小时

精度可达±1°,2M循环

防静电设计,晶圆尺寸:150200


wafer notch自动对准器
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