wafer flat自动对准器


AFEZ 自动-FLAT-(76-200)mm



通过
16FLAT定位旋钮可调整

定位到最终 flat 位置。

Throughput: 100cassettes/小时

精度可达±1°,2M循环

防静电设计,晶圆尺寸:50-200mm


wafer flat自动对准器
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