非接触式搬运


H2BST  非接触-(76-300)mm



用于特殊水平设置伯努利晶圆搬运,可搬运薄、
SEMI标准或厚晶圆。H2BST配置可用于装载/卸载平台、压板、单晶圆托盘、运送盒和工艺料盒。


非接触式搬运
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