ODP3


ODP3 

外沿-三方位夹取-50-200mm


从切线边缘搬运晶圆的
3点机械抓取器,用于单晶圆化学工艺或晶圆安全应用。夹具采用Teflon®PTFE。具有可调节的张紧螺钉,可调节施加在晶圆上的力量。


ODP3
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