静电控制与洁净室系统



静电控制与洁净室系统

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静电消除系统

面向半导体无尘室环境建立完整的静电控制体系, 与洁净室系统协同工作,提升整体生产环境稳定性。

系统应用

  1. 整体无尘室管控

  2. Roomsystem 天花板系统

通过整体化系统设计,实现更加稳定的生产环境管理。

半导体热处理方案服务商

从晶圆搬送、非接触操作到静电控制与无尘室系统,            持续为半导体制造提供高精度、高可靠性的产品与应用支持。


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